電子情報部門,電気電子コース,張 慧

張 慧

助教

ZHANG hui

電子情報部門 電気電子コース

研究KEYWORD

ナノスケール加工計測,医用工学バイオセンサ,電子デバイス,電子線モンテカルロシミュレーション

研究分野 (科研費細目)

主要な研究内容

電子のモンテカルロ輸送計算をはじめとする計算物理の手法、ナノ微細加工技術による超微細ナノ構造の作製及びナノデバイスの作製に取り組んできた。近年は,特に医療応用を目指した低濃度生体分子検出のための超高感度バイオセンサの研究を進めている。主な研究テーマは,以下の通りである。(1)超高感度シリコンナノワイヤバイオセンサの研究;(2)オン・シリコン熱電発電デバイスの研究;(3)電子線描画法及び自己組織化法の融合技術による10 nm以下のパターン形成技術の研究:(4)電子線モンテカルロシミュレーションによる最適な露光と現像条件の予測。

共同研究に応用できる技術分野 または 共同研究実績

超高感度バイオセンサの作製と計測;熱電発電デバイス;電子線描画法及び自己組織化法によるナノ微細構造形成技術;電子デバイスの計測評価技術

主要な所属学会

応用物理学会

近年の論文 または 特許 (3件以内)

  • Ordering of Self-assembled 5-nm-Diameter Poly(dimethylsiloxane) Nanodots with Sub-10 nm Pitch using Ultra-Narrow Electron-Beam-Drawn Guide Lines and Three-Dimensional Control (ガイドパターンと3D整列制御法を用いた直径5 nm、ピッチ10 nmの自己組織化ナノドット整列制御に関する研究), Applied Physics Letters, Vol. 104, 093107 1-4 (2014).
  • The Dependence of Crystallization on Temperature in the Nanosecond Timescale for GeTe-based Fast Phase-Change Resistor(GeTe相変化メモリのナノ秒領域における結晶化温度特性の解明に関する研究), Chemical Physics Letters, Vol. 650, 102-106 (2016).
  • The Possibility of mW/cm2-class On-Chip Power Generation Using Ultra-Small Si Nanowire based Thermoelectric Generators (mW/cm2レベルの発電密度を出せるシリコンナノワイヤを用いた熱電発電デバイスの研究), IEEE Transactions on Electron Devices, Vol. 65, pp.2016-2023 (2018).