電子情報部門,電気電子コース,曾根 逸人,曽根 逸人

曾根 逸人

教授

SONE hayato

電子情報部門 電気電子コース

研究KEYWORD

ナノメートル計測制御,プローブ顕微鏡,電子顕微鏡,バイオセンサ,超高密度メモリ,結晶成長

研究分野 (科研費細目)

医用システム,ナノバイオサイエンス

主要な研究内容

プローブ顕微鏡や電子顕微鏡を用いたナノメートルスケール表面計測および加工による新規デバイスの研究を行ってきた。最近は,特に医療応用を目指した微小質量モニタリングや低濃度生体分子検出のための超高感度バイオセンサの研究を進めている。主な研究テーマは,以下の通りである。(1)体外受精卵のクオリティーを選別するマルチ卵重計の創製,(2)集束イオンビームおよび電子線描画を用いたナノワイヤ型バイオセンサの開発,(3)酸化金属ナノワイヤを用いた高感度ガスセンサの開発,(4)電子線照射によるナノ構造形成

共同研究に応用できる技術分野 または 共同研究実績

電子顕微鏡による表面形状計測,プローブ顕微鏡による表面形状・物性計測,集束イオンビームによる微細加工,電子線描画によるナノメートル加工,結晶成長(気相成長,固相エピタキシャル成長など)

主要な所属学会

応用物理学会,日本結晶成長学会

近年の論文 または 特許 (3件以内)

  • Fabrication of Si Nanowire Biosensor Using FIB and Its Evaluations(集束イオンビームを用いたSiナノワイヤバイオセンサの作製と評価), Key Engineering Materials, Vol. 596 (2014) pp. 224-228.
  • Fabrication using Focused Ion Beam Processing of Devices Employing Silicon-Based Nanowires Synthesized by Vapor-Liquid-Solid Growth(気相液相固相成長で合成したSi系ナノワイヤへの集束イオンビーム加工によるデバイス作製), Applied Mechanics and Materials, Vol. 423-426 (2013) pp. 125-129.
  • 特許第4953140号,「質量測定装置及びカンチレバ」(登録日:2012年3月23日).