知能機械創製部門,鈴木 孝明

鈴木 孝明

教授

SUZUKI takaaki

知能機械創製部門

研究KEYWORD

マイクロナノシステム,MEMS,microTAS,微細加工,微細鋳型,バイオ・医療・光・流体・環境・IoT応用

研究分野 (科研費細目)

知能機械学・機械システム/ ナノマイクロシステム

主要な研究内容

独創的なマイクロ・ナノ加工技術を基盤として,安全・安心な社会を実現する高機能バイオ・光・IoT向け発電システムの実現を目的とした研究を行っている。近年の微細加工技術の発達に伴い,MEMS(Micro electro mechanical systems)と呼ばれる微小なセンサやアクチュエータを1つの基板上に集積した,微小電気機械システムの研究が盛んに行われている。このMEMS技術を用いて,細胞内への高効率遺伝子導入,ヒト染色体の高感度分析,微小流体システム,超小型光偏向ミラー,IoT向け超小型振動発電デバイス,微細金型を用いた高効率導光板などの開発を行っている。

共同研究に応用できる技術分野 または 共同研究実績

各種マイクロナノシステム・デバイスの設計・解析・開発,マイクロ・ナノ加工技術とその応用,3次元リソグラフィ技術,染色体・細胞操作解析デバイスの開発,小型光・振動発電デバイス,IoT向けMEMSデバイスの開発

主要な所属学会

日本機械学会,電気学会,日本AEM学会,応用物理学会,化学とマイクロ・ナノシステム学会,IEEE

近年の論文 または 特許 (3件以内)

  • Bimorph piezoelectric vibration energy harvester with flexible 3D meshed-core structure for low frequency vibration(低周波振動向け柔軟3次元メッシュ構造を有するバイモルフ型圧電振動発電デバイス), Science and Technology of Advanced Materials, Vol.19, pp.660-668, (2018).
  • Correlation between Cells-on-Chips materials and cell adhesion/proliferation focused on material’s surface free energy(材料の表面自由エネルギーに着目したセルオンチップ材料と細胞接着性/増殖性の相関), Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects, Vol.565, pp.188-194, (2019).
  • 特許第5458241号,US 8871433,「微細構造体の作製方法」, (2014).