知能機械創製部門,鈴木 孝明

鈴木 孝明

教授

SUZUKI takaaki

知能機械創製部門

研究KEYWORD

マイクロナノシステム,MEMS,microTAS,微細加工,微細鋳型,バイオ・医療・光・流体・環境応用

研究分野 (科研費細目)

知能機械学・機械システム/ ナノマイクロシステム

主要な研究内容

独創的なマイクロ・ナノ加工技術を基盤として,安全・安心な社会を実現する高機能バイオ・光・発電システムの実現を目的とした研究を行っている。近年の微細加工技術の発達に伴い,MEMS(Micro electro mechanical systems)と呼ばれる微小なセンサやアクチュエータを1つの基板上に集積した,微小電気機械システムの研究が盛んに行われている。このMEMS技術を用いて,細胞内への高効率遺伝子導入,ヒト染色体の高感度分析,微小流体システム,超小型光偏向ミラー,ウエアラブル振動発電デバイス,微細金型を用いた高効率導光板などの開発を行っている。

共同研究に応用できる技術分野 または 共同研究実績

各種マイクロナノシステム・デバイスの設計・解析・開発,マイクロ・ナノ加工技術とその応用,3次元リソグラフィ技術,染色体・細胞操作解析デバイスの開発,小型光・振動発電デバイスの開発

主要な所属学会

日本機械学会,電気学会,日本AEM学会,IEEE

近年の論文 または 特許 (3件以内)

  • Development of low-fluorescence thick photoresist for high-aspect-ratio microstructure in bio-application(バイオ応用向け高アスペクト比を有する微細構造のための低自家蛍光厚膜フォトレジストの開発), Biomicrofluidics, 9, ID022405, (2015).
  • MEMS技術を利用した高速DNAファイバ解析デバイスの開発, 電気学会論文誌(E), 133, 5: 139-146, (2013):第70回電気学術振興賞(論文賞).
  • 特許第5458241号,US 8871433,「微細構造体の作製方法」,2014.