研究KEYWORD
酸化物，薄膜，スパッタリング，透明半導体，太陽電池，発光材料，光触媒
研究分野
電気電子工学，応用物理物性，応用物理工学
主な研究テーマ
- 酸化物系光電変換素子の作製と透明太陽電池への応用に関する研究
- スパッタ法による酸化物系発光材料の作製と応用に関する研究
- 金属酸化物薄膜の光触媒への応用を目指した基礎研究
研究概要
多様な光機能を持つ金属酸化物に興味を持ち，その作製と応用に関する研究に取り組んでいます。
(1) 酸化亜鉛(ZnO)を主材料とした透明な太陽電池の実現を目指しています。
(2) ZnOを主材料とした新規発光材料の実現を目指しています。
(3) 酸化タンタル(Ta2O5)を主材料とした光触媒の実現を目指しています。
提供できる技術・応用分野
スパッタリング法による光デバイス作製技術，サブミクロンスケール周期構造の作製技術
主要な所属学会
電子情報通信学会，応用物理学会，照明学会，日本セラミックス協会
代表的な論文 または 特許
- Fabrication and evaluation of green-light emitting Ta2O5:Er, Ce co-sputtered thin films, Results in Physics 5 (2015) 78.
- Fabrication of periodic microstructures for improving light-extraction efficiencies of light-emitting ZnO/Si devices, Results in Physics 7 (2017) 2965.
- 共スパッタ法を用いたAu添加Ta2O5薄膜の作製とその光学特性の評価，電子情報通信学会和文論文誌C, J104-C (2021), 98.