研究KEYWORD
ナノスケール計測加工，プローブ顕微鏡，電子顕微鏡，電子線リソグラフィ，高感度バイオセンサ，高感度ガスセンサ，結晶成長
研究分野
人間医工学，ナノマイクロ科学
主な研究テーマ
- 体外受精卵の成長をモニタリングするリング型マルチ卵重計の創製
- 微量生体分子検出超高感度Siナノワイヤバイオセンサの創製
- 酸化金属およびSiナノワイヤを用いた高感度ガスセンサの開発
研究概要
プローブ顕微鏡や電子顕微鏡を用いたナノメートルスケール表面計測および加工による新規デバイスの研究を行ってきた。最近は，特に医療応用を目指した微小質量モニタリングや低濃度生体分子検出のための超高感度バイオセンサの研究を進めている。前者では，体外受精卵のクオリティ評価を目指して，受精卵の質量および放出されるイオン濃度を同時測定できるマルチ卵重計を微細加工で開発している。後者では，疾病の早期診断を目指して，電子線リソグラフィを用いてSiナノワイヤバイオセンサを作製し，aM（10＾-18 mol/L）レベルの超低濃度抗体の特異的検出を実現している。また，酸化金属およびSiナノワイヤセンサはガス検出も可能なことから，可燃性ガスの微量漏洩検出や生体から放出される微量ガスの検出を目指した研究も進めている。
提供できる技術・応用分野
電子顕微鏡による表面形状計測，プローブ顕微鏡による表面形状・物性計測，集束イオンビームによる微細加工，電子線描画によるナノメートル加工，結晶成長（気相成長，固相エピタキシャル成長など）
主要な所属学会
応用物理学会，日本結晶成長学会，日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第167委員会
代表的な論文 または 特許
- Design and Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensor with Integration of Critical Factors: Toward Ultrasensitive Specific Detection of Biomolecules, ACS Appl. Mater. Interfaces, Vol. 12 (2020) pp. 51808-51819.
- Fabrication of Holder-type Piezoresistive Cantilever for Embryo Mass Measurement, Sensors and Materials, Vol. 30 (2018) pp. 2369-2382.
- Fabrication of N-type Silicon Nanowire Biosensor for Sub-10-Femtomolar Concentration of Immunoglobulin, Key Engineering Materials, Vol. 790 (2018) pp. 28-33.