研究概要

独創的なマイクロ・ナノ加工技術を基盤として，安全・安心な社会を実現する高機能バイオ・光・IoTシステムの実現を目的とした要素技術と設計手法に関する研究を行っている。近年の微細加工技術の発達に伴い，MEMS（Micro electro mechanical systems）と呼ばれる微小なセンサやアクチュエータを１つの基板上に集積した，微小電気機械システムの研究が盛んに行われている。当研究室では，オリジナルのマイクロ・ナノ加工技術「三次元リソグラフィ法」（日米特許取得済み）を基盤技術として，他の方法では作製が困難な形状を加工し，その部品を組み合わせて集積化したMEMSデバイスの応用展開をすすめている。具体的には，ポリマー圧電材料を用いた高性能マイクロアクチュエータ・センサの創製，自然界の物質には無い変形挙動をする人工物質構造であるメタマテリアル構造の創製，老化・ガン化をヒト染色体の長さを可視化して診断するDNA遺伝子解析チップ，老人や子供の動きを電池レスで見守る無線ネットワーク（IoTシステム）などの開発を行っている。