知能機械創製部門,鈴木 孝明

鈴木 孝明

教授

SUZUKI takaaki

知能機械創製部門

研究KEYWORD

マイクロナノシステム,MEMS,ポリマーMEMS,microTAS,微細加工,フォトリソグラフィ,バイオ・IoT応用

研究分野

ロボティクス,機械力学,ナノマイクロ科学,設計工学

主な研究テーマ

  • マイクロナノ加工技術とそのシステムに関する設計,解析,開発
  • 染色体や細胞を解析するバイオデバイスの研究開発
  • IoT向け振動発電,センサシステムの研究開発

研究概要

独創的なマイクロ・ナノ加工技術を基盤として,安全・安心な社会を実現する高機能バイオ・光・IoTシステムの実現を目的とした要素技術と設計手法に関する研究を行っている。近年の微細加工技術の発達に伴い,MEMS(Micro electro mechanical systems)と呼ばれる微小なセンサやアクチュエータを1つの基板上に集積した,微小電気機械システムの研究が盛んに行われている。当研究室では,オリジナルのマイクロ・ナノ加工技術「三次元リソグラフィ法」(日米特許取得済み)を基盤技術として,他の方法では作製が困難な形状を加工し,その部品を組み合わせて集積化したMEMSデバイスの応用展開をすすめている。具体的には,ポリマー圧電材料を用いた高性能マイクロアクチュエータ・センサの創製,自然界の物質には無い変形挙動をする人工物質構造であるメタマテリアル構造の創製,老化・ガン化をヒト染色体の長さを可視化して診断するDNA遺伝子解析チップ,老人や子供の動きを電池レスで見守る無線ネットワーク(IoTシステム)などの開発を行っている。

提供できる技術・応用分野

有機材料を構造材として用いたポリマーMEMS技術,IoTシステムのための環境発電技術とセンサ技術,バイオマイクロシステム作製・評価技術,3次元リソグラフィを中心とした微細加工技術など。

主要な所属学会

日本機械学会,電気学会,応用物理学会,化学とマイクロ・ナノシステム学会,IEEE

近年の論文 または 特許 (3件以内)

  • Size optimization of metamaterial structure for elastic layer of a piezoelectric vibration energy harvester, Sensors and Actuators A: Physical, Vol.318, ID.112488, 2021.
  • Bimorph piezoelectric vibration energy harvester with flexible 3D meshed-core structure for low frequency vibration, Science and Technology of Advanced Materials, Vol.19, pp.660-668, (2018)
  • 特許第5458241号,US 8871433,「微細構造体の作製方法」, (2014).